エリプソメーター
レーザー光で薄膜の厚さを測る装置です。
レーザー光が通るものであればナノメートルまで計ることができます。
試料を上下左右に自在に動かせるので、材料のいろいろな部分を狙って計測することができます。
材料にレーザー光を当てて測ります。
レーザー光で薄膜の厚さを測る装置です。
レーザー光が通るものであればナノメートルまで計ることができます。
試料を上下左右に自在に動かせるので、材料のいろいろな部分を狙って計測することができます。
材料にレーザー光を当てて測ります。