生体適合デバイス用成膜装置は、生体用デバイスのための薄膜製造を目的とした実習用三元スパッタ装置です。
生体計測用のウエアラブルセンサをはじめ、生体への装着や埋め込みを行うたデバイスを構築するための専用設計となっています。

本装置の特徴
1. 機能性高分子膜などの熱に弱い素材上にも異種材料の薄膜が形成可能です。
2. オイルミストの発生を抑えるため、ドライポンプを備えています。
3. 基板とターゲットの距離を材料にあわせて最大150mmまで変化させることができます。
4. 試料を回転させながらスパッタリングできます。光ファイバの加工にも対応できます。

スパッタリング中のスパッタ室内部の様子。
通常はアルゴンガスを用いていますが、酸素プラズマなどにも対応可能です。

RF電源を1系統、DC電源を2系統備えています。
排気操作や条件設定はタッチパネル上で操作します。