1958(昭和33)年4月 中央電子顕微鏡室を開設
1989(平成元)年5月 機器分析室を設置
1996(平成8)年5月 中央電子顕微鏡室と機器分析室を併合して機器分析センターを設置
2003(平成15)年4月 先端研究支援センター機器分析センターに改組
2010(平成22)年4月 医歯学研究支援センター・機器分析部門に改組
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